XPS Peak Fit免费版

XPS Peak Fit是一款非常好用的XPS分峰拟合软件，简单来说就是一款实用的化学分析处理软件，可以帮助用户对化学物质进行详细的分析，大大的方便了平常的学习，如果有需要的欢迎前来下载！

XPS Peak Fit介绍

XPS Peak Fit是一款用于进行化学分析的XPS分峰拟合软件，可以进行分析物质表面的化学组分及状态分析。它是一款常用的化学处理软件，对表面光电子能谱处理分析，能自动生成很多重要的参数。

XPS Peak Fit使用方法

1、Excel中的数据转换成TXT格式

从Excel中的数据只选择要进行拟合的数据点，复制到txt文本中，即BD两列数据，另存为*.txt文件。

2、打开分峰软件,在XPS Peak Fit窗口中，从Data菜单中选择Import (ASCII)，即可将转换好的txt文本导入，出现谱线

3、扣背底

在打开的Region 1窗口中，点击 Backgrond，选择Boundary的默认值，即不改变High BE和Low BE的位置，Type一般选择Shirley类型扣背底

4、加峰

选择Add Peak，选择合适的Peak Type(如s,p,d,f),在Position处选择希望的峰位，需固定时点fix前的小方框,同时还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。各项中的constaints可用来固定此峰与另一峰的关系。如W4f中同一价态的W4f7/2和W4f5/2的峰位间距可固定为2.15eV，峰面积比可固定为4:3等，对于% Lorentzian-Gaussian选项中的fix先去掉对勾，点击Accept完成对该峰的设置。点Delete Peak可去掉此峰。再选择Add Peak可以增加新的峰，如此重复。注意：% Lorentzian-Gaussian值最后固定为20%左右。

分峰拟合中的一些基本原则

谱峰的曲线拟合应考虑：合理的化学与物理意义；合理的半高宽（一般不大于2.7eV，氧化物的半高宽应大于单质的半高宽）；合理的L/G比（XPS Peak 41分峰软件中的% Lorentzian-Gaussian）为20%左右；对双峰还应考虑两个峰的合理间距、强度比等（详见下面的3，4项）。

对于p、d、f等能级的次能级（如p3/2、p1/2，光电子能谱中一般省略/2，即为p3、p1）强度比是一定的，p3:p1=2:1；d5:d3=3:2，f7:f5=4:3。在峰拟合过程中要遵循该规则。如W4f中同一价态的W4f7和W4f5峰面积比应为4:3。

对于有能级分裂的能级（p、d、f），分裂的两个轨道间的距离(doublet seperation)也基本上是固定的，如同一价态的W4f7和W4f5之间的距离为2.15eV左右，Si2p3和Si2p1差值为1.1eV左右。各元素能级分裂数据可参考网上数据库http://srdata.nist.gov/xps/selEnergyType.aspx中 选择Doublet Seperation项。